精密部品用超精密システムソリューション

精度と純度の出会い

半導体産業は、クリーン度と精度、さらにプロセスの信頼性に最も高い要求を課しています。

EROWAセミコンダクターのソリューションにより、CNCプロセスを自動化することができます。マイクロコンポーネント用のクランピング技術、ソフトウェア制御のプロセスモニタリング、繊細なワークハンドリングにより、マイクロメーターレベルでの再現性のある品質をお約束します。

半導体製造におけるEROWAの優位性

  • 完全なプロセス制御のためのソフトウェア制御によるマイクロ生産
  • 精密で信頼性の高いワークホールドシステム
  • さまざまなワークサイズに対応する柔軟なパレットによる自動化
  • 生産における信頼性の高い精度と文書化およびトレーサビリティ
  • 既存のプロセスおよび検証システムへの統合

典型的な課題に対してEROWAがすべての工程をコントロールします

複雑で繊細な素材

ソリューション:EROWAクランプシステムは、真空技術により繊細な材料のプロセスセーフなクランプも可能にします。

微細部品の不透明プロセス

ソリューション : 当社の半導体製造用 CNC プロセス コントロールは、すべての製造工程を可視化および文書化します。

極小シリーズ部品の交換にかかる労力の多さ

ソリューション : 超小型コンポーネント用のモジュラークランプシステムを使用すれば、再現性と精度を犠牲にすることなく、数秒でセットアップできます。

最高の要求に応えるマイクロオートメーション

シリコンウェーハの加工、微細穴あけ、MEMS構造の製造などはEROWA Micromechanics Automation を使用することで、すべての製造工程が制御可能で、かつ拡張性に富み、トレーサブルとなります。

当社のソリューションは、レーザー加工機、ミリングセンター、座標測定システムにも対応しており、工業レベルでのプロセス信頼性を持ち高いマイクロ生産を保証します。

私たちの要求を満たすと同時に、ワークのロジスティクスを自動化することができました。
半導体サプライヤー、テクニカル・マネージャー

EROWAに信頼を寄せる半導体業界のお客様

光電子部品のスペシャリストからマイクロチップ製造のハイエンドサプライヤーまで:当社のお客様はすでに自動化しています

  • 繊細なマイクロコンポーネントのためのモジュラーパレタイジングシステム
  • マイクロ精度でソフトウェア制御されたシリーズ生産